浮动式涡旋专利技术
无污染、免维护、清洁真空
结构紧凑、振动小、噪声小
单台设备**抽速为60 m3/h（1000 L/min）
多台并联成泵组后，抽速可达360 m3/h
适用于需要洁净中低真空的应用
应用领域：真空镀膜，半导体，生物制药，及其他需要洁净真空环境的应用
极限真空度：0.005 mbar（0.5 Pa）
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