?浮动式涡旋专利技术?无污染、免维护、清洁真空?结构紧凑、振动小、噪声小?单台设备**抽速为18 m3/h(300 L/min)?多台并联成泵组后,可适应于不同的应用需求?适用于需要洁净中低真空的应用?应用领域:真空镀膜,半导体,生物制药,及其他需要洁净真空环境的应用
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